TSRI 提供的微機電開發平台，主要是由 SIEMEMS EDA 旗下的 Tanner L-Edit MEMS 提供用戶二維之圖形編輯功能來設計微機電元件，並且透過 SoftMEMS 將製程步驟帶入形成三維元件，最後利用雲端軟體 OnScale 的強大運算能力對於多重物理耦合量進行多樣組合方式的求解，可快速的求取大型模型物件的分析數據。

該流程可廣泛應用在全球最先進的5G濾波器及陣列式微機電傳感器的開發，確保其設計與製造的一致性，進而加速開發的時程。