MEMS 設計工具領導者
L-Edit MEMS 是一種進階 layout 版圖編輯器,具有曲面多邊形和任意角度布林運算等能夠支援 MEMS layout設計的功能。
與其他專為機械工程而設計的 CAD 工具不同,L-Edit MEMS 可顯示光罩的 Clear 和 Dark 區域。因此,您可以快速繪製和編輯光罩,然後輕鬆查看不同的光罩組合,以檢查它們的重疊和交互情況。利用眾多強大的功能,例如出色的曲線支持、交互式 DRC、布林運算、對象捕捉和對齊,您可以更高效地展開工作,以節省時間和成本。
先進的設計規則檢查
L-edit MEMS Plus 具有先進的設計規則檢查功能,可幫助您輕鬆查找設計缺陷並提高良率。您可以利用該工具的圖形界面輕鬆設置規則,使其可針對任何工藝進行配置。
這一點很重要,因為大多數 MEMS 製程都具有很強的專業性或專有性。 L-Edit MEMS Plus 憑藉先進的驗證錯誤導航器,可立即將您帶到 layout 編輯器中的違規位置,並提供清晰、詳盡的 DRC 結果摘要報告,因而有助於縮短驗證時間。
MEMS 3D 建模
3D Solid Modeler 插件允許您從選定的 layout 區域和製程描述建立 MEMS 元件的 3D 模型。簡單易用的管理器允許您輸入製程步驟和序列以及材料屬性。
支援表面微加工和體積微加工的製程步驟,例如材料沉積、蝕刻、機械拋光、擴散、成長、電鍍和晶圓操作步驟。
可縮放 3D 模型並選擇部分遮罩進行查看。可透過旋轉、縮放、預設視角和逐步顯示製造序列來查看模型,還可以通過動畫模型來顯示製程序列。
系統級 MEMS 模擬
MEMS Modeler 使用來自有限元分析的 3D 數據,自動生成行為模型,為整合了電路和封裝的系統模擬做好準備。涉及大量自由度的複雜有限元模型被轉換為只包含少數主要自由度的行為模型。
使用者還可以從分析方程建立自己的模型,工具則以多種主流格式生成用於模擬的行為模型。 MEMS Modeler 建立了 3D 與系統模擬之間的橋樑,使設計團隊能夠協同工作。