MEMS layout 和 IC layout 之間的最大區別在於是否使用了獨特的不規則形狀。在傳統的 CMOS IC 設計中，layout 的形狀通常為曼哈頓風格（如矩形和直線多邊形），或具有佈線用的 45 度邊緣的多邊形；而 MEMS 設計則不同，它所採用的幾何形狀五花八門，究其原因在於，MEMS 可以廣泛應用在機構、光學、磁性、流體和生物等領域中。本篇論文包含兩個部分，說明了對不規則形狀（包括曲線和全角度多邊形）實作的支援及其易用性，為何是以及如何是使 MEMS 導向的 CAD 工具區別於傳統 IC 導向的工具的重要條件。（第 1 部分著重於 layout 編輯；第 2 部分則著重於驗證）。
恩萊特科技股份有限公司 Enlight Technology Co., Ltd.
Mentor, A Siemens Business Authorized Distributor
更多研習資訊：www.enlight-tec.com
302新竹縣竹北市復興三路二段168號6樓之一
電話：03-602-7403
傳真：03-621-0304
sales@enlight-tec.com
Comments