Siemens EDA Software → IC Tool Portfolio → Custom IC → MEMS Design → MEMS

MEMS Design

Tanner (Legacy)

L-Edit MEMS 是 MEMS 設計的黃金標準。憑藉真正的原生曲線支援，它是唯一專為 MEMS 與 IC 設計開發的工具。

MEMS 設計

L-Edit MEMS 是 MEMS 設計領域的黃金標準。憑藉真正的原生曲線能力，它是唯一專為 MEMS 與 IC 設計開發的工具。作為 MEMS 數位孿生的基礎平台，全面支援元件設計、3D 製程建模與模擬。

主要功能

完整的 MEMS 設計環境

真實曲線支援增強布林運算進階編輯支援：物件捕捉基點對齊倒角/圓角技術可配置元件庫，實現設計重複利用設計規則檢查。

MEMS 數位孿生流程

根據版圖資料與製程描述建立 3D 實體模型，提供 MEMS 製程流程的 3D 視覺化呈現，匯出模型至 FEM／BEM 模擬工具進行 3D 分析，支援與 Ansys、COMSOL 等主流 FEM 工具進行多物理模擬。