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PIC Studio

隨選網路研討會

矽光子製程與UNSW PDK 介紹

1. 新南威爾斯大學 UNSW SOI 製程平台

  • 製程技術與平台特性

  • Silicon 材料基本特性

  • 埋藏氧化層與Handle Wafer 說明

  • 設計區域與尺寸規範

2. 製程層定義與設計規則

  • 層的定義:蝕刻深度分類與輔助層

  • 波導類型:條形波導、脊形波導與淺蝕刻應用

  • 通用設計規則

  • 各蝕刻層的具體設計規範

3. PDK 元件庫

  • 固定元件 Fixed-cell 介紹

  • 可參數化元件 P-cell 介紹

  • 部分元件的特性數據

4. 元件的有效應用與設計流程

  • 設計流程:從功能定義到晶片製造

  • 設計驗證工具應用:pSim Plus、PhotoCAD、Advanced SDL、pVerify DRC



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